紫外线、臭氧和二氧化氯消毒工艺的成本主要取决于以下几个方面：
1、设备成本：不同的消毒工艺需要不同类型的设备，其价格也不同。一般来说，紫外线消毒设备的价格较低，二氧化氯消毒设备的价格较高，臭氧消毒设备的价格介于两者之间。
2、能耗成本：不同的消毒工艺需要不同的能源支持，如电力、氧气等，其能耗成本也不同。一般来说，紫外线消毒设备的能耗较低，臭氧消毒设备的能耗较高，二氧化氯消毒设备的能耗居中。
3、操作维护成本：不同的消毒工艺需要不同的操作和维护成本，包括人工维护、设备维护等。一般来说，紫外线消毒设备的操作和维护成本较低，臭氧消毒设备的操作和维护成本较高，二氧化氯消毒设备的操作和维护成本居中。
在1mg/L投加量下，二氧化氯消毒的运行成本约为0.008~0.015元/m³，高于同剂量的次氯酸钠（0.0033元/m³）。臭氧消毒成本大约为0.05元/吨水。相比之下，短波紫外线灭菌消毒成本更低，1吨污水采用短波紫外线灭菌消毒成本仅需0.004元，成本只有乙氯消毒的一半、氯加脱氯消毒成本的2/5，臭氧消毒成本的1/9。
综合来看，紫外线消毒设备的总成本较低，适用于水处理和空气净化场合；二氧化氯消毒设备的总成本较高，适用于大型水处理和污水处理场合；臭氧消毒设备的总成本介于两者之间，适用于中小型水处理和空气净化场合。
需要注意的是，不同的消毒工艺在实际应用中也会受到一些其他因素的影响，如消毒效果、安全性、环境影响等，因此在选择消毒工艺时需要综合考虑各方面因素。